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产品应用于积体电路铝製程工艺金属綫、通孔及金属焊盘(pad)蚀刻残留物去除,提供优异的蚀刻残留物去除能力、低成本。产品已在8英寸及12英寸逻辑晶片、记忆体晶片等领域量产。
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